Обладнання для електричної характеристики напівпровідникових матеріалів, структур та нанорозмірних пристроїв
Вимірювальний комплекс призначений для швидкої електричної та електрофізичної характеристики напівпровідникових матеріалів, структур та нанорозмірних пристроїв. Він підтримує електричні вимірювання постійного та змінного струму, включаючи вольт-амперні характеристики, вольт-амперні характеристики, адмітансну спектроскопію, імпедансну спектроскопію, вимірювання чотириточковим зондом та вимірювання ефекту Холла. Система дозволяє визначати опір, питомий опір, шаровий опір, магнітоопір, концентрацію носіїв заряду, рухливість Холла та коефіцієнт Холла як функції напруги та температури.
Resource type: Instrument
Hosted / supported by: Центр колективного використання обладнання діагностики напівпровідникових матеріалів
Technical notes
Цей вимірювальний комплекс призначений для швидкої електричної та електрофізичної характеристики напівпровідникових матеріалів, структур та нанорозмірних пристроїв. Комплекс включає оптичний мікроскоп Axioskop 2 MAT, аналізатор параметрів напівпровідника Agilent 4156, LCR-метр Agilent 4284, прецизійне джерело живлення Keithley 6487, пікоамперметр Keithley 6485, чотириточкову зондову установку з нагріванням зразка до 120 °C, азотний кріостат для двозондових вимірювань у діапазоні температур 77–350 K та систему вимірювання на ефекті Холла ezHEMS™. Комплекс підтримує електричні вимірювання постійного та змінного струму, вольт-амперну спектроскопію (ВАС), вольт-амперну спектроскопію (ВВС), спектроскопію адмітансу та імпедансу, чотириточкові зондові вимірювання, вимірювання на ефекті Холла та оптичну мікроскопію.
Data outputs
Типові вихідні дані включають вольт-амперні характеристики, вольт-ємнісні характеристики, спектри адмітансу, спектри імпедансу, опір, питомий опір, шаровий опір, магнітоопір, концентрацію носіїв заряду, рухливість Холла, коефіцієнт Холла як функції напруги та температури, а також зображення оптичної мікроскопії в режимах світлого поля, темного поля, поляризації, люмінесценції та диференціального інтерференційного контрасту.
Services using this resource
Напівпровідникові матеріали, структури та діагностика пристроїв
Діагностика напівпровідникових матеріалів, структур та приладів – це інтегрований експериментальний сервіс для характеристики напівпровідникових матеріалів, тонких плівок, наноструктур, багатошарових структур та напівпровідникових приладів. Сервіс поєднує поверхневу, структурну, оптичну, …